實時監(jiān)測氣態(tài)分子污染物AMC

實時監(jiān)測氣態(tài)分子污染物AMC

檢測需求

潔凈室需要控制污染物水平。準確、可靠和低維護成本的潔凈室氣態(tài)分子污染物AMC控制可以顯著的提升產(chǎn)能。

可靠的監(jiān)測

高靈敏度的DKG ONE-CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì)，可保證長期高穩(wěn)定性。DKG ONE-CF4可與其他檢測儀器，如顆粒物監(jiān)測儀等，整合在一個機柜里。

技術(shù)應(yīng)用

DKG ONE-CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量子級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度可以無時延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

優(yōu)勢

1. 準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制

2. 快速的響應(yīng)時間，以捕捉濃度突然上升

3. 獨立運行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵

4. 無耗材或者化學(xué)試劑

5. 短光程，單點校準也可達到業(yè)內(nèi)先的動態(tài)量程

6. 直接吸收測量，無漂移

7. 校準間隔長（可達數(shù)年）

8.高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾

特點

1. 高選擇性的監(jiān)測痕量水平的CF4

2. 檢測下限(LoD)低于0.1 ppb

3. 響應(yīng)時間可設(shè)置，從5秒到3分鐘

4. 動態(tài)范圍寬，運行穩(wěn)定

5. 無耗材

6. 低樣品量（幾ml）

7. 內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)

8. 重新校準間隔長（幾個月）

9. 直觀的用戶界面

10. 內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果

11. 可通過局域網(wǎng)遠程操作

技術(shù)原理

1. 工作原理：紅外光聲光譜

2. 超靈敏zhuan利光學(xué)麥克風(fēng)，基于微電機懸臂梁傳感器，結(jié)合激光干涉儀測量懸臂梁的微觀運動

3. 光源：分布式反饋量子級聯(lián)激光

4. 樣品池溫度穩(wěn)定于50℃

環(huán)境

1. 運行條件

2. 溫度范圍：0℃～+49℃

3. 濕度：無凝露

4. 壓力：750mbar～1050 mbar

5. 防塵/水等級：IP20(IEC 529)

6. 儲存條件

7. 溫度范圍：-20℃～+60℃

8. 樣品氣體條件

9. 溫度范圍：0℃～+49°C

10. 濕度：無凝露，溫度達35°C時最大相對濕度80%，溫度達49°C時線性下降至35%

11. 壓力：750 mbar～1050 mbar

12. 氣流：約1L/min

13. 顆粒物<1μm

通用

1. 19”3U外殼，適用于臺式或者機架固定安裝

2. 尺寸：48.4 cm W x 13.9 cm H x 44 cm D；便攜式尺寸：51.85cmx40.5cmx23cm

3. 重量：約13 Kg（便攜式約15Kg）

4. 內(nèi)置計算機，帶7”寬屏顯示器

5. 數(shù)據(jù)存儲：在最短采樣間隔連續(xù)監(jiān)測的情況下，足夠存儲一年

6. 內(nèi)部總氣路體積：30ml

7. 電源

8. 輸入電壓：90～264 VAC，47～63 Hz

9. 輸入功率：最大75W

10. 接口：以太接口，USB，可選RS485，RS232，電流輸出，電壓輸出，MODBUS和AK協(xié)議

11. DKG ONE-CF4可以通過智能手機，平板，電腦或者另一臺DKG ONE-CF4（即將推出)遠程控制

測量參數(shù)

1. 響應(yīng)時間：取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設(shè)定。根據(jù)平均時間和采樣設(shè)定從大約10秒到幾分鐘不等

2. 監(jiān)測下限：小于0.1ppb

3. 動態(tài)量程：大于5個數(shù)量級（檢測下限的100,000倍)

4. 重復(fù)性：運行條件下，校準濃度重復(fù)性小于1%

5. 準確度：校準濃度高于5%，受限于校準氣體準確度

6. 溫度穩(wěn)定性：在運行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會導(dǎo)致漂移

7. 壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會導(dǎo)致漂移

標準

1. 符合低電壓指令2014/35 / EU，EMC指令2004/108 / EC和ROHS 2指令2011/65 / EU

機箱選項

單氣體分析

DKG ONE-CF4為用戶提供簡潔直觀的用戶界面，包括一塊高分辨率的顯示屏和一個旋轉(zhuǎn)按鈕。

便攜操作

可選的便攜式外箱適用于可預(yù)見泄漏區(qū)域的檢測。

移動式整合方案

幾個DKG ONE-CF4單元可以整合在同一個監(jiān)測系統(tǒng)，移動式平臺可以快速的移動到不同的關(guān)鍵測點。